微纳米几何尺寸的量值溯源是通过一条规定的溯源链，使测量值或测量标准值与国际或国家规定的计量标准联系起来，实现所有同一量值能够追溯到国际统一的源头，使测量结果具有测量的准确性、可比性、可靠性及可重复性。纳米计量作为高科技产业、先进制造业和科技进步的基础，各发达国家目前都在积极致力于建立完善的微纳米几何量量值溯源体系，我国也把纳米计量纳入了计量发展的战略规划中。
在1983年举行的第17届国际计量大会上，正式确立真空中光在1/299792458s时间内通过的长度作为“米”的定义。在1999年国际计量局公布的《实现米定义的公告》中，给出了21种稳频激光干涉仪的固定波长频率作为“米”定义的国际标准谱线。利用这些稳频激光干涉仪的标准谱线，对带激光干涉仪等测量仪器进行校准，就可以让测量的结果直接溯源到国际单位“米”的定义上，实现单位统一、量值准确可靠以及微纳米几何量的计量。
但是激光干涉仪受市场价格、工作环境、测量速度等因素的影响，日常测量用的纳米加工测量设备的设计和使用中，并没有包括这种类型的激光干涉仪。为此，微纳米标准样板成为微纳米行业中实物标准与微纳米几何量量值传递的关键组成部分，并且得到了广泛的运用。用带有激光干涉仪的计量型仪器来校准微纳米标准样板，可以对日常测量用的纳米加工测量设备进行实时校准，从而建立典型的微纳米几何量量值传递链，并以此来保证纳米材料生产过程中的测量准确性。
